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产物展现
​GFC系列高机能全主动真空镀膜机
  • 用处及特色
  • 规格参数
    用处及特色
    Use and Features
     
    ●顺应于玻璃、塑胶等基片上镀制各种光学薄膜和别的机能性装潢薄膜的批量化出产
    ●接纳******的电气节制体系,杰出的用户操纵界面,大大加重功课职员的承担
    ●RCS主动镀膜节制体系******全部镀膜进程主动实现
    ●基片架动弹接纳磁流体密封手艺******真空密封,中间驱动体例******薄膜产物的平均性及反复性
    ●优化的设置装备摆设、严酷的品德节制******产物品质的不变性和反复性
    ●排气速度.镀膜效力的进步,大大延长了产物出产周期
    GFC系列高机能全主动真空镀膜机
    Series GFC High Quality Vacuum Thin Film Coater
    手艺参数
    Technical parameters
    真空室体
    Vacuum chamber
    Ø1300*1450mm,SUS304材质
    φ1,300*1,450mm,SUS304 material
     
    排气体系
    Air exhaust system
    KT-500分散泵2台,总排气速度(加载水冷阱)11,000Pa.L/S
    Two sets of KT-500 diffusion pump, with a gross exhaust velocity (loaded with water-cooling trap) of 11,000Pa.L/S;
    极限真空≤2.0E-4Pa;排气时候≤15min(大气→4.0E-3Pa)
    Ultimate vacuum ≤2.0E-4Pa; exhaust time ≤15min (atmosphere→4.0E-3Pa)
    基片架
    Substrate holder
    Ø1200四叶扇形基片架, 3~30rpm转速;可选配行星基片架、翻起色构等
    φ1200 four-blade sector-shaped substrate holder, rotating speed 3~30rpm; a planet substrate holder or a turnover mechanism can also be matched;
    加热机构
    Heating means
    ******350℃,PID节制;恒温20min后温度平均性250±10℃
    Maximum 350℃, PID control; temperature homogeneity being 250±10℃ after 20 min of constant temperature control;
    石英监控仪
    Quartz monitor
    入口石英晶体膜厚监控仪;2点(或6点)晶振探头
    Imported quartz crystal monitor on film depth, with two-point (or six-point) crystal probe;
    电子束蒸起源
    Electron beam evaporation source
    10KW电子枪 2台,12点坩埚和环形坩埚
    Two sets of 10KW electron gun, 12-point crucible or ring-shaped crucible;
    电阻蒸起源
    Resistance evaporation source
    功率4KW(一对、两对或多对)
    Power of 4KW (one pair, two pairs or more pairs)
    膜厚批改板
    Film depth correction board
    2个主动可倒式膜厚批改机构
    Two automatic film depth correction mechanisms of collapsible type
    反映气体
    Reaction gas
    APC主动压强节制仪,品质流量计
    APC automatic pressure controller, mass flowmeter
    离子源
    Ion source
    可选配Kafman、Holl或RF离子源
    Available for matching of Kafman, Holl or RF ion source
    高温抽气装配
    Low temperature evacuating equipment
    入口高温抽气装配有用捕集水蒸汽,******温度-130℃
    The imported low-temperature evacuating equipment can effectively gather water vapor; minimum temperature -130℃
    RCS体系
    RCS system
    基于WINDOWS的全主动镀膜软件
    Windows-based full automatic coating software
    节制体系
    Control system
    节制柜(液晶触摸式黑色显现器),长途节制遥控盒
    Control cabinet (with liquid crystal color touch screen), remote-control box for remote control
     
    耗损动力
    Energy consumption
    3相,220/380VAC,50Hz;~70KVA
    Three-phase, 220/380VAC,50Hz;~70KVA
    水流量140L/min,压力0.3~0.5MPa
    Water flow 140L/min, pressure 0.3~0.5MPa
    紧缩氛围0.5MPa~0.7MPa
    Compressed air 0.5MPa~0.7MPa
    重    量
    Weight
    毛重约4500Kg
    Net weight about 4,500 Kg
    装置空间
    Installation space
    W4000mmxD6000mmxH2700mm
    W4,000mm×D6,000mm×H2,700mm
     

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